С ускорением расширения производства в глобальной полупроводниковой отрасли, недавно завершена кластерная модернизация системы охлаждения на одном из заводов по производству чипов, где на территории предприятия развернута крупная кластерная группа охлаждающих башен, что обеспечивает надежную поддержку для точного температурного контроля на всех этапах производства чипов.
Производство микросхем предъявляет чрезвычайно строгие требования к точности контроля температуры. Каждый ключевой этап, от литографии и травления до осаждения пленок и ионного внедрения, зависит от высокоточных систем охлаждения для поддержания постоянной температуры. Даже колебание температуры всего на 0,1°C может напрямую повлиять на выход годных пластин и производительность чипов. Введенный в эксплуатацию кластер охлаждающих башен использует архитектуру с параллельным соединением нескольких башен и независимым температурным контролем по зонам. Снабженный высокоточными частотными приводами и системой резервирования, он обеспечивает точное распределение и динамическую регулировку расхода в соответствии с различными требованиями к охлаждению на разных этапах процесса, гарантируя непрерывную и стабильную работу всей системы охлаждения 7×24 часа.
Одновременно в рамках этого кластерного проекта была внедрена интеллектуальная платформа управления группой, которая с помощью датчиков в режиме реального времени собирает ключевые параметры, такие как температура, расход и давление на каждом технологическом участке. Используя алгоритмические модели, система автоматически оптимизирует стратегии работы башен, снижая общий энергопотребление более чем на 25% при сохранении точности температурного контроля. В условиях крайне высоких требований к чистоте в производстве чипов, охлаждающие башни также оснащены высокоэффективными устройствами удаления тумана и предотвращения разбрызгивания воды, что эффективно исключает потенциальное загрязнение чистых помещений водяным паром. Реализация проекта ознаменовала ключевой шаг на пути к интеллектуализации и экологизации инфраструктуры чип-фабрики, заложив прочную основу для увеличения производственных мощностей и повышения выхода годных изделий.
